实验室的气路工程材料主要以BA级或EP级管道系统,管道在输送气体是不被二次污染,管路系统广泛应用于化验室检测,电子工厂的元器件生产、显示器面板等微电子领域,因为在不同的领域会用到不同的气体,不同的气体对材料的要求也不同。
1、管路工程材料选择:对超高纯气体输送管道,阀门,接头,减压器等部件均应采用EP级内壁电解抛光部件,管道采用超低碳不锈钢管。
2、阀门优先选用隔膜阀,因为隔膜阀泄漏率比较低,隔膜阀的阀体死角小,易吹扫。
3、管路安装要优先选用焊接方式,接头采用VCR接头连接,
4、在管道安装时,并尽量着气流的方向进行安装。为了防止微粒污染,管子道在切割过程中应防止变型并在切割的过程中用高纯氩气进行吹扫。